半導體設備末端執行器

半導體設備末端執行器 半導體設備末端執行器是半導體制造設備中直接與晶圓（或其他半導體元件）接觸并執行特定操作的關鍵部件，位于機械臂或運動機構的末端，其功能類似于人類的 “手”，負責完成晶圓的搬運、定位、加工輔助等任務。它的設計精度、可靠性和潔凈度直接